半导体检测的测试系统称为ATE，由电子电路和机械硬件组成，是由同一个主控制器指挥下的电源、计量仪器、信号发生器、模式的合体，用于模仿被测器件将会在应用中体验到的操作条件，以发现不合格的产品。

测试系统硬件由运行一组指令(测试程序)的计算机控制，在半导体检测时提供合适的电压、电流、时序和功能状态给DU测试的结果和预先设定的界限，做出相应的判断。

半导体检测的测试程序的目的是控制测试系统硬件以相应的方式保障被测器件达到或超过它的那些被具体定义在器件规格书里的程序通常分为几个部分，如DC测试、功能测试、AC测试等。DC测试验证电压及电流参数;功能测试验证芯片内AC测试，以保障芯片能在特定的时间约束内完成逻辑操作。